靶台

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造句

• 真空室顶部预留了法兰口并配有冷却靶台。
• 真空室内的气体等离子体可由热灯丝或射频放电产生，4另外还配置了4个金属等离子体源、两套磁控溅射靶和冷却靶台。

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